宽度535mm基板的一次扫描、数据处理速度提高、实现高精细加工与高生产效率的并行。 内置本司制造的搬送装置及控制单元、设置面积与掩膜式曝光机差异不大。
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曝光方式
DMD
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L/S
15 /15 um
- PC/Motherboard
- HDI
- BGA
- CSP
- FC-BGA
- Package
- 主要规格
最大扫描范围 535×620mm 板厚 0.1～2.0mm 曝光光源 镭射二极管405nm