1968年8月
从日立制作所的机床部门独立下来、位于川崎市成立日立精工株式会社
1972年3月
成立日立精工工程株式会社
1974年10月
从株式会社日立制作所接管焊接机部门
1981年1月
Hitachi Seiko Head Office总公司/工厂迁址到海老名市
1987年12月
Hitachi Seiko (USA), Inc.成立
1992年3月
1992年3月Hitachi Seiko (Asia) Pte. Ltd.成立
1999年4月
公司名称变更为日立维亚機械株式会社(Hitachi Via Mechanics, Ltd.)
2003年4月
日立维亚机械（上海）有限公司成立
2007年2月
Air Bearings Ltd.收购英国Air Bearings Ltd.
2009年1月
日立维亚机械株式会社从小野测器株式会社
收购曝光机部门
2009年1月
日立维亚机械（常熟）有限公司成立
2010年4月
吸收合并日立维亚工程株式会社
2012年7月
台湾日立维亚机械股份有限公司 成立
2013年11月
公司名称变更为维亚機械株式会社、公司股份自日立制作所转让到隆力集团
2018年5月
总公司迁往厚木市 工厂迁往御殿场市
2021年4月
股东变更为“*AP集团”
*AP集团：是由Advantage Partners Inc.提供服务的投资基金
