为应对更精细的回路制造需求、我们不停的改进已有的直描光学系统光学系技術、实现了加工点直径的微细化。
达成业界最高的L/S=8um、并继续研发出L/S=5um的解像度。
新机的扫描速度比以往机型提高1.4倍、大幅度地提高了生产效率。
同时、达成描画精度｜AVE｜+3σ＜7um。

DE-6UH ⅡE 灵活对应多种模式。多区域的实时补正、搭载预对位相机的高精度移动轴、使每张基板的处理效率得以改进、为生产性的提升做出了飞跃的贡献。
另外、由JOB viewer专注于生成作业可视化和条件生成自动化、在线控制系统让产品在线统一管理得以容易实现、并提供内容丰富的各种选项。

DE-6UH ⅡE 配备了激光输出的跟踪监视和修正功能、光轴间装备了自动监视系统、追求智能化高品质的维护。
另外本体的小型化设计使得与胶片曝光机的调换更为容易。